工作原理  Working Principle

無油渦旋真空泵優(yōu)泵頭、電機、機座等構(gòu)成。泵頭含動、定渦旋盤，曲軸，密封件，風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤由原型平面和其上滲出的一條或者幾條漸開線螺旋盤壁組成，定渦旋盤和動渦旋盤的組成渦旋盤復(fù)構(gòu)成無油渦旋真空泵的基礎(chǔ)抽氣機構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤無接觸，依靠相對運行形容積不斷縮小的新月形壓縮腔，通過吸氣，壓縮，排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入，排氣口排出，實現(xiàn)對被抽腔體抽真空。

性能優(yōu)勢 Performance Advantages

· 抽速：4m³/h到604m³/h；

· 高真空：極限真空可達到1Pa；

· 全無油：不返油，不噴油；

· 啟停：能在大氣壓和真空之間頻繁啟動和關(guān)閉；

· 安靜：低噪音，低震動；

· 小巧：體積小，重量輕；

行業(yè)應(yīng)用  Application Industry

廣泛應(yīng)用于材料、光伏、食品、醫(yī)藥、醫(yī)療、能源工業(yè)、航空航天、檢查分析、半導(dǎo)體等行業(yè)。